Оборудование

Оборудование
ЦКП «Функциональные и обучаемые наноматериалы»

Нанотехнологический комплекс НаноФаб-100
Страна: Россия
Фирма-изготовитель: NT-MDT
Марка: НаноФаб-100
Год выпуска: 2011

Внешний вид нанотехнологического комплекса (НТК)  «НаноФаб-100»

В состав комплекса входит четыре технологических модуля:

		Модуль нанообработки материалов ионным пучком на НТК «НаноФаб – 100» Модуль нанообработки фокусированными ионными пучками со сканирующим электронным микроскопом и системой вторично-ионной масс-спектроскопии предназначен для модификации поверхности посредством резки и травления ионным пучком, а также исследования структуры и состава приповерхностного слоя материала подложки.
		Магнетронный модуль НТК «НаноФаб – 100» Модуль магнетронного напыления объединяет в едином вакуумном цикле целый ряд технологических процессов, включающих ионную очистку и активацию поверхности подложки, нанесение однослойных и многослойных наноструктурированных покрытий с высокой плотностью и заданным составом.
		Модуль плазмохимического травления (ПХТ) Модуль плазмохимического травления и очистки предназначен для «сухого травления» и очистки широкого диапазона материалов.
		Имплантационный модуль фокусированных ионных пучков Имплантационный модуль фокусированных ионных пучков предназначен для модификации поверхности подложек, совмещая достоинства технологии ФИП с методом ионного легирования. Он позволяет создавать наноструктуры с заданными свойствами размером порядка десятков нанометров.

---

---

Растровый электронный микроскоп JSM 6510LV-EDS с рентгеновским  энерго-дисперсионным спектрометром
Страна: Япония
Фирма-изготовитель: JEOL 
Марка: JSM 6510LV-EDS 
Год выпуска: 201&;

Литографическая приставка к электронному микроскопу NanoMaker Full                      
Страна: Россия               
Фирма-изготовитель: Интерфейс-РУ 
Марка: NanoMaker Full
Год выпуска: 2012

Электронный микроскоп предназначен для исследования рельефа поверхности, качественного и количественного состава создаваемых наноматериалов. Литографическая приставка NanoMaker Full к этому микроскопу позволяет изготавливать маски для плазмохимического травления интегральных микросхем с разрешением не хуже 20 нм. 

Электронный микроскоп JSM-6510LV-EDS с рентгеновским энерго-дисперсионным спектрометром 
и литографической приставкой «Nanomaker»

---

---

Сканирующий электронный микроскоп TESCAN MIRA3 LMU (2019)

Микроскоп включает в себя:

• Рентгеновский энерго-дисперсионный спектрометр (EDS)
• Систему анализа картин электронной дифракции (EBSD)
• Детектор катодолюминесценции (CL)
• Столик Пельтье в сочетании с режимом низкого вакуума и напуска паров воды

---

---

Исследовательский комплекс
Универсальный вакуумный сканирующий зондовый Микроскоп  NTEGRA Aura 
Страна: Россия                    
Фирма-изготовитель: NT-MDT 
Марка: NTEGRA    Aura
Год выпуска: 2008

Зондовый микроскоп предназначен для исследования топологии поверхности, распределения локального коэффициента трения,распределения микротвердости, распределения поверхностного потенциала, качественное изучение фазового состава, изучение локальной проводимости, изучение поверхностной плотности электронных состояний (в туннельном режиме), выполнение силовой и анодной литографии с разрешением не хуже 10 нм.

---

---

Исследовательский комплекс
Сканирующий  зондовый микроскоп NTEGRA prima 
Страна: Россия
Фирма-изготовитель: NT-MDT 
Марка: NTEGRA prima 
Год выпуска: 2008                                           

---

---

Измерительный комплекс NanoEducator
Страна: Россия                    
Фирма-изготовитель:  NT-MDT
Марка: NanoEducator 
Год выпуска:2008 

                             

---

---

Микроскоп металлографический в оптическом диапазоне неинвертированный
Страна: Россия
Фирма-изготовитель: Альтами 
Марка: Альтами МЕТ 3Т 
Год выпуска: 2011                             






             

---

---

Спектрометр ЯМР низкого разрешения MicroMR