НОЦ «Нанотехнологии»: оборудование

Нанотехнологический комплекс NT-MDT НаноФаб-100 (2011)

В состав комплекса входят:

• Модуль магнетронного распыления
• Модуль вторично-ионного масс-спектрометра
• Модуль ионной имплантации
• Модуль сухого плазмохимического травления

 
Сканирующий электронный микроскоп TESCAN MIRA3 LMU (2019)

Микроскоп включает в себя:

• Рентгеновский энерго-дисперсионный спектрометр (EDS)
• Систему анализа картин электронной дифракции (EBSD)
• Детектор катодолюминесценции (CL)
• Столик Пельтье в сочетании с режимом низкого вакуума и напуска паров воды

 
Сканирующий электронный микроскоп JEOL JSM 6510-LV (2011)

В состав входят:

• Рентгеновский энерго-дисперсионный спектрометр (EDS)
• Литографическая приставка

 
Зондовый микроскоп NT-MDT NTegra Aura

• Атомно-силовая микроскопия
• Туннельная микроскопия
• Возможность работы в вакууме

Оборудование для пробоподготовки к электронной микроскопии 

• Система автоматического напыления углеродных покрытий JEOL JEC-570
• Система автоматического напыления металлических покрытий Quorum Q 150R

Оборудование для электрических измерений дискретных устройств и интегральных схем 

• Осциллографы (в т.ч. 4-х-канальный осциллограф Tektronix TDS2024С)
• Источник-измеритель тока-напряжения Keithley 2400
• Генератор импульсов произвольной формы Tektronix AFG3052C
• Пикоамперметр Keithley 6485